Разработана технология получения плазмы для ускорения создания новых литографов

НОВОСИБИРСК, 19 июня. /ТАСС/. Российские физики смогли получить плотную и горячую плазму, которая станет источником экстремального ультрафиолетового излучения и позволит создавать микроэлектронику будущего.